micro-électronique à films minces
- micro-électronique à films minces
- plonasluoksnė mikroelektronika
statusas T sritis fizika
atitikmenys: angl. thin film microelectronics
vok. Dünnfilmmikroelektronik, f
rus. тонкоплёночная микроэлектроника, f
pranc. micro-électronique à films minces, f
Fizikos terminų žodynas : lietuvių, anglų, prancūzų, vokiečių ir rusų kalbomis. – Vilnius : Mokslo ir enciklopedijų leidybos institutas.
Vilius Palenskis, Vytautas Valiukėnas, Valerijonas Žalkauskas, Pranas Juozas Žilinskas.
2007.
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